اترك رسالة
يجب أن تكون رسالتك بين 20-3000 حرف!
من فضلك تفقد بريدك الالكتروني!
مزيد من المعلومات يسهل التواصل بشكل أفضل.
تم الإرسال بنجاح!
اترك رسالة
يجب أن تكون رسالتك بين 20-3000 حرف!
من فضلك تفقد بريدك الالكتروني!
اسم الإنتاج: | آلة الرش الدقيقة بالموجات فوق الصوتية | التكرار: | 60 كيلو هرتز |
---|---|---|---|
ماكس باور: | 1-15 واط | حجم الرش المستمر ماكس: | 20-1200ml/h/pcs، قابلة للتوسع |
عرض الرش الفعال: | 2-260 مم/قطعة، قابلة للتطوير | توحيد الرذاذ: | ≥95٪ |
لزجة المحلول: | ≥30 سنتيم | الجهد المدخل: | 220 فولت ± 10%/50-60 هرتز |
إبراز: | نظام طلاء ليتوغرافيا بالموجات فوق الصوتية,نظام طلاء للكتابة الحجرية بالموجات فوق الصوتية المقاوم للضوء,نظام طلاء للكتابة الحجرية بالموجات فوق الصوتية للشرائح نصف الموصلة,photoresist ultrasonic lithography coating system,semiconductor ultrasonic lithography coating system |
نظام طلاء الليتوغرافيا بالموجات فوق الصوتية المقاوم للضوء للشرائح نصف الموصل
الوصف:
الرش بالموجات فوق الصوتية هي عملية بسيطة واقتصادية ويمكن إعادة إنتاجها لطلاء المقاومة الضوئية في معالجة رقائق التصوير الضوئي.يستخدم نظام طلاء الليتوغرافيا بالموجات فوق الصوتية لمقاومة الضوء للشاشات نصف الموصلة من FUNSONIC تقنية طبقات متقدمة للسيطرة الدقيقة على معدل التدفق، سرعة الطلاء، وكمية الركم. تعريف صبغ الرش منخفض السرعة الرش كنمط دقيق ويمكن التحكم به لتجنب الرش الزائد وإنتاج طبقات رقيقة جدا ومتساوية.
أنظمة طلاء فوتوجرافية بالموجات فوق الصوتية المقاومة للشاشات نصف الموصلة من FUNSONIC لديها مزايا في إيداع طبقات أكثر توحيدًاوخاصة على طول الجزء العلوي من الجدران الجانبية للخنادق ذات النسبة العالية للجانب والهياكل ذات الشكل Vلا يمكن للدوران الطرد المركزي أن يضع طبقات موحدة على طول الجدران الجانبية، دون تراكم مقاومة ضوئية كبيرة في قاع التجويف.
المعلمات:
نوع المنتج |
آلة طلاء الرش الدقيق بالموجات فوق الصوتية مكتب المختبر نوع FS310 |
آلة طلاء دقيقة بالموجات فوق الصوتية الذكية نوع مكتب FS620 |
تردد تشغيل فوهة الرش | 20-200 كيلو هرتز | 20-200KHz (عادة استخدام 60100110120K) |
قوة الفوهة | 1-15 واط | 1-15 واط |
حجم الرش المستمر | 0.01-50 مل/دقيقة | 0.01-50 مل/دقيقة |
عرض الرش الفعال | 2-100ملم | 2-100ملم |
توحيد الرذاذ | ≥95% | ≥95% |
معدل تحويل الحل | ≥95% | ≥95% |
سمك الفيلم الجاف | 20nm-100μm | 20nm-100μm |
لزجة المحلول | ≤30cps | ≤30cps |
نطاق الحرارة | 1-60 درجة مئوية | 1-60 درجة مئوية |
الجسيمات المتفجرة (القيمة المتوسطة) | 10-45μm (ماء مقطر) ، يحددها تردد الفوهة | 10-45μm (ماء مقطر) ، يحددها تردد الفوهة |
ضغط الانحراف | ≤0.10MPA | ≤0.15MPA |
الجهد المدخل | 220 فولت ± 10%/50-60 هرتز | 220 فولت ± 10%/50-60 هرتز |
وضع التمرين | X + Y محورين تلقائي بالكامل ، ضبط يدوي محور Z | ثلاثي المحور XYZ ، قابل للبرمجة بشكل مستقل |
وضع التحكم | بطاقة كمبيوتر صغيرة، شاشة تعمل باللمس 7 بوصات + أزرار | نظام التحكم في الرش FUNSONIC، تحكم PLC، شاشة لمس ملونة كاملة 13.3 بوصة |
محتوى التحكم | الرش بالموجات فوق الصوتية، إمدادات السوائل، التدفئة، التشتت بالموجات فوق الصوتية وغيرها من الأنظمة | الرش بالموجات فوق الصوتية، إمدادات السوائل، التدفئة، التشتت بالموجات فوق الصوتية وغيرها من الأنظمة |
طريقة إمدادات السوائل | مضخة الحقن الدقيقة | مضخة الحقن الدقيقة |
نظام التشتت بالموجات فوق الصوتية (اختياري) | 50 مل، 40K، عينة الدرجة البيولوجية | 20 مل أو 50 مل، 40K، عينة الدرجة البيولوجية |
الطاقة المسجلة لنظام التشتت بالموجات فوق الصوتية | 200 واط,10A | 100 واط |
المزايا:
1تغطية فيلم موحدة لمختلف محاور السطح.
2قادرة على تغطية الصخور ذات نسبة شكل عالية مع توحيد ممتاز
3-البرق غير مسدس
4قادرة على إيداع طبقات رقيقة من ميكرون واحد متساوية للغاية.
5عملية الرش الناضجة المتكررة
نظام طلاء الليتوغرافيا بالموجات فوق الصوتية المقاوم للضوء للشرائح نصف الموصل